Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени/Блейхер, Г. А.

 

QR-код документа

Оценок: 0


Блейхер, Г. А.
    Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени [Текст] / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 12.

Кл.слова (ненормированные):
магнетронные распыленные системы -- магнетронное осаждение покрытий -- газоразрядная плазма -- твердотельная мишень -- разогрев подложек
Доп.точки доступа:
Кривобоков, В. П.
Юрьева, А. В.

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг