Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов. Последние достижения

 

QR-код документа

Оценок: 0

621
М 744

    Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов. Последние достижения / под ред. Д. Миллера ; пер. с англ. М. С. Обрехта. - Москва : Радио и связь, 1989. - 278 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 254-275. . - ISBN 5256002287
Парал. тит. л. на англ. яз.

УДК
621
621.382.001.57

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- моделирование полупроводниковых приборов -- МОП-приборы -- метод конечных элементов -- электроны -- ионная имплантация -- моделирование литографии
Доп.точки доступа:
Миллер, Д. \ред.\
Обрехт, М. С. \пер.\

Экземпляры всего: 6
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (5)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (402) (5)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг