QR-код документа
>
Папко, В.
Магнитный электроразрядный насос для технологических процессов и исследований в сверхвысоком вакууме [Текст] / В. Папко.> // Наноиндустрия : научно-технический журнал. - Москва : ЗАО «Риц Техносфера»,. - 2013. - № 3.
Кл.слова (ненормированные):
магнитный электроразрядный насос -- МЭРН -- сверхвысокий вакуум -- откачка инертных газов -- диодный откачивающий элемент -- триодный откачивающий элемент