Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.38(075.8) В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии).
   в 2 т. : т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 386 - 389 . - ISBN 9785996303359. - ISBN 9785996303410

УДК
621.38.049.77(075.8)
620.3(075.8)

Рубрики: микроэлектроника--учебные издания для вузов

   нанотехнологии--учебные издания для вузов

Кл.слова (ненормированные):
технологические процессы микроэлектроники -- гетерогенное фазообразование -- гетерогенные процессы конденсации -- эпитаксия жидкофазная -- эпитаксия твердофазная -- окисления процессы -- термодиффузионного легирования процессы -- диффузионные процессы -- модифицирование -- ионное легирование полупроводников -- монокристалы, разрушение -- полупроводниковые материалы, разрушение -- полупроводниковые пластины, разделение -- монокристаллы кремния, обработка -- полупроводники, травление -- эпитаксиальные процессы -- фотолитография
Доп.точки доступа:
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна
Коркишко, Ю. Н. \ед.\

Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1), Абонемент учебной и научной литературы (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг