Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 Т 384

    Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Ю. А. Парменова. - Москва : [б. и.], 1988. - 122 с. : табл., ил. - Библиогр. в конце ст.

УДК
621.382.049.771.14

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- схемы полупроводниковые интегральные -- интегральные микросхемы (ИМС) -- МДП-системы -- кремниевые пластины -- пленки диоксида кремния -- пленки диэлектрические
Доп.точки доступа:
Парменов, Ю. А. \ред.\
Московский институт электронной техники

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг