Перейти к содержимому
QR-код документа
Рогов, А. В.
Факторы, определяющие эффективность магнетронного распыления. Критерии оптимизации [Текст] / А. В. Рогов, Ю. В. Капустин, Ю. В. Мартыненко. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 2.
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- эффективность магнетронного распыления -- магнетронные распылительные устройства -- максимальная скорость распыления катода -- мощность магнетронного разряда -- глубина эрозии катода
Доп.точки доступа:
Капустин, Ю. В.
Мартыненко, Ю. В.