Конструктивные и технологические особенности измерительно- преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков/Толстенок, О. А.

 

QR-код документа

Оценок: 0


Толстенок, О. А.
    Конструктивные и технологические особенности измерительно- преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков [Текст] / О. А. Толстенок, Т. А. Холомина // Измерительная техника. - N 8 (2004), С. 66-71

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- мембраны -- электромеханические системы -- механические системы -- датчики давления -- кремниевые мембраны -- тензорезисторные преобразователи -- преобразователи -- давление
Аннотация: Рассмотрены физико-технологические особенности производства микроэлекромеханических систем (МЭМС) . Обсуждается оптимальный вариант конструкции тензопреобразователя, сформированного на кремниевой (001) мембране n-типа.
Доп.точки доступа:
Холомина, Т. А.

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг