Технология толстых и тонких пленок

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 Т 384

    Технология толстых и тонких пленок : пер. с англ. / под ред. А. Рейсмана, К. Роуза ; предисл. А. К. Катмана. - Москва : Мир, 1972. - 174 с. : ил., табл. - (Наука для техники. Современная радиоэлектроника). - Библиогр. в конце ст. - Парал. тит. л. на англ. яз.

УДК
621.382-181.48.002.3

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- радиоэлектронная аппаратура -- интегральные схемы -- тонкие пленки в микроэлектронике -- толстые пленки в микроэлектронике -- вычислительная техника -- оптоэлектроника -- акустическая электроника -- физика толстых и тонких пленок
Доп.точки доступа:
Рейсман, А. \ред.\
Роуз, К. \ред.\

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг