Механическая обработка полупроводниковых материалов/Бочкин, Олег Иванович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.315 Б 866
Бочкин, Олег Иванович.
    Механическая обработка полупроводниковых материалов : учебник / О. И. Бочкин, В. А. Брук, С. Н. Никифорова-Денисова. - Москва : Высшая школа, 1977. - 152 с. : табл., ил. - (Профтехобразование. Полупроводники.)

УДК
621.315.592.002 : 658.386.06(02)

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые материалы -- кристаллы -- пластины полупроводниковые -- механическая обработка материалов -- скрайбирование -- резка -- шлифовка -- полировка -- контроль качества поверхности
Доп.точки доступа:
Брук, Вадим Аркадьевич
Никифорова-Денисова, Светлана Николаевна

Экземпляры всего: 1
Хранение Отдела организации и использования фонда (1)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг