Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве/Борисенко, Виктор Евгеньевич.

 

QR-код документа

Оценок: 0

537
Б 825
Борисенко, Виктор Евгеньевич.
    Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве / В. Е. Борисенко ; под ред. В. А. Лабунова. - Минск : Навука i тэхнiка, 1992. - 248 c. : ил., табл. - Библиогр. : с. 209-247. . - ISBN 5343008216

УДК
537
621.315.592.002 : 621.78

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- рекристаллизация -- кристаллизация -- диффузия -- сегрегация примесей -- синтез силицидов -- силициды -- поликристаллические кремнии -- тепловыделение
Доп.точки доступа:
Лабунов, В. А. \ред.\

Экземпляры всего: 2
Хранение Отдела организации и использования фонда (2)
Свободны: Хранение Отдела организации и использования фонда (2)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг