Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/Данилин, Борис Степанович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 Д 182
Данилин, Борис Степанович.
    Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : табл., ил. - Библиогр. : с. 316-324. . - ISBN 5283039390

УДК
621.382.049.772.1.002 : 533.915

Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- тонкие пленки -- интегральные схемы -- плазменные процессы -- вакуумно-технические параметры -- осаждение тонких пленок -- магнетронный метод осаждения -- термоионный метод осаждения -- ионно-кластерный метод осаждения -- электронно-циклотронный метод осаждения
Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг