Перейти к содержимому
QR-код документа
Яфаров, Р. К.
Кинетика структуирования субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100) при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин. // 7 nnas. Журнал технической физики. - Санкт-Петербург : Наука,. - 2015. - Т. 85, вып. 6.
Кл.слова (ненормированные):
углеродные покрытия -- субмонослойные углеродные покрытия -- кристаллы кремния -- вакуумно-плазменное осаждение -- СВЧ осаждение -- атомно-силовая микроскопия -- электронная микроскопия -- плазма паров этанола
Доп.точки доступа:
Шаныгин, В. Я.