Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике

 

QR-код документа

Оценок: 0

621.382 С 232

    Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : сборник научных трудов / Московский институт электронной техники ; Московский институт электронной техники ; [ред. кол. : И. Г. Блинов (отв. ред.) и др.]. - Москва : [Изд-во Московского института электронной техники], 1981. - 151 с. : ил., табл., схем. - Библиогр. в конце ст.

УДК
621.382.049.77.002

Кл.слова (ненормированные):
роботы -- конвейерные системы -- микросварка -- роботизированные комплексы -- сборочное оборудование
Доп.точки доступа:
Блинов, И. Г. \ред.\
Московский институт электронной техники

Экземпляры всего: 1
Книгохранение (1)
Свободны: Книгохранение (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг