Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния/Коробцов, Владимир Викторович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

538.9 К 68
Коробцов, Владимир Викторович.
    Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния : автореферат диссертации на сосискание научной степени доктора физико-математических наук : 01.04.07 / В. В. Коробцов ; Российская академия наук, Дальневосточное отделение, Институт автоматики и процессов управления. - Владивосток : [б. и.], 2002. - 34 c.
На правах рукописи. Доступна электронная версия

УДК
538

Кл.слова (ненормированные):
физика -- кристаллизация -- эпитаксия -- нитридизация -- авторефераты диссертаций -- ДВГУ (труды преподавателей)
Доп.точки доступа:
Институт автоматики и процессов управления (Владивосток)

Экземпляры всего: 1
Ч/З о. Русский (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1)

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг