Перейти к содержимому
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Яфаров, Равиль Кяшшафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 205-216 . - ISBN 9785922111508
ББК 30.6 + 32.844.1
Рубрики: плазма--СВЧ плазменные устройства--нанотехнологии--научные издания
нанотехнологии--плазменные устройства--научные издания
наноэлектроника--научные издания
Кл.слова (ненормированные):
СВЧ плазменные устройства -- динамика плазмы -- электромагнитные волны в плазме -- низкотемпературная плазма -- физика плазмы -- диффузионные процессы в плазме -- микроволновые плазменные устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Яфаров, Равиль Кяшшафович.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил., табл. - Библиогр. : с. 205-216 . - ISBN 9785922111508
| УДК |
Рубрики: плазма--СВЧ плазменные устройства--нанотехнологии--научные издания
нанотехнологии--плазменные устройства--научные издания
наноэлектроника--научные издания
Кл.слова (ненормированные):
СВЧ плазменные устройства -- динамика плазмы -- электромагнитные волны в плазме -- низкотемпературная плазма -- физика плазмы -- диффузионные процессы в плазме -- микроволновые плазменные устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление
Экземпляры всего: 2
Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Свободны: Ч/З о. Русский (1), Книгохранение (1)
Страница 1, Результатов: 1