Электронный каталог

Салащенко, Н. Н. (чл.-кор. РАН).
    Коротковолновая проекционная нанолитография / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Вестник Российской академии наук. - Т. 78, N 5 (2008), С. 450-457. - Библиогр.: с. 456-457 (31 назв. )

УДК

655.34

ББК 37.83

Рубрики: Полиграфическая промышленность

   Плоская печать

Кл.слова (ненормированные):
диапазоны коротковолновые -- диапазоны ультрафиолетовые -- коротковолновые диапазоны -- микроэлектронная промышленность -- нанолитография -- нанолитография проекционная -- области спектра -- проекционная нанолитография -- промышленность микроэлектронная -- спектры -- ультрафиолетовые диапазоны
Аннотация: На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности.
Доп.точки доступа:
Чхало, Н. И. (канд. физ.-матем. наук)