Электронный каталог

    Модификация поверхности материалов обработкой в плазме низкотемпературного объемного разряда / Г. Л. Спичкин [и др. ] // Цветные металлы. - N 12 (2009), С. 61-66

УДК

53+621.7

ББК 22.3 + 30.68

Рубрики: Физика

   Общие вопросы физики

   Техника

   Обработка материалов

Кл.слова (ненормированные):
поверхность материалов -- низкотемпературная плазма -- обработка плазмой -- адгезия -- диэлектрические покрытия
Аннотация: Рассмотрена потенциальная возможность модификации поверхности материалов обработкой в плазме низкотемпературного объемного разряда. Обсуждены физические, химические, технологические и экологические проблемы. Приведены особенности формирования газоразрядного промежутка и его характеристики. Описаны возможные механизмы воздействия низкотемпературной газоразрядной плазмы на структуру материала (поверхность и размер).
Доп.точки доступа:
Спичкин, Г. Л.; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Чистов, Е. К.
Пщелко, Н. С.
Сырков, А. Г.