Перейти к содержимому
База данных: Электронный каталог ДВФУ
Страница 1, Результатов: 1
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
Тарнавский, Г. А.
Нанотехнологии в электронике: краткий обзор основных процессов производства современных микроэлектромеханических систем / Г. А. Тарнавский // Справочник. Инженерный журнал. - N 11 (2008), С. 11-16. - Библиогр.: с. 16 (11 назв. )
ББК 34.5
Рубрики: Машиностроение
Общая технология машиностроения
Кл.слова (ненормированные):
кремневые полупроводниковые материалы -- микроэлектромеханические системы -- нанотехнологии -- электроника
Аннотация: Приводится краткий перечень и описание ключевых физико-химических и механических процессов, составляющих основу технологических сегментов промышленного производства полупроводниковых материалов, конструирования и получения трехмерных микроструктур для современной электроники.
Тарнавский, Г. А.
Нанотехнологии в электронике: краткий обзор основных процессов производства современных микроэлектромеханических систем / Г. А. Тарнавский // Справочник. Инженерный журнал. - N 11 (2008), С. 11-16. - Библиогр.: с. 16 (11 назв. )
| УДК |
Рубрики: Машиностроение
Общая технология машиностроения
Кл.слова (ненормированные):
кремневые полупроводниковые материалы -- микроэлектромеханические системы -- нанотехнологии -- электроника
Аннотация: Приводится краткий перечень и описание ключевых физико-химических и механических процессов, составляющих основу технологических сегментов промышленного производства полупроводниковых материалов, конструирования и получения трехмерных микроструктур для современной электроники.
Страница 1, Результатов: 1