Электронный каталог

Скворцов, А. М.
    Структура нанокластеров кремния в системе кремний - диоксид кремния / А. М. Скворцов, Куанг Тунг Фам // Известия вузов. Приборостроение. - Т. 52, N 3 (2009), С. 69-72. - Библиогр.: с. 72 (20 назв. )

УДК	681.2+621.375+621.371.8

ББК 34.93 + 32.86 + 32.86-5

Рубрики: Приборостроение

   Материалы в приборостроении

   Радиоэлектроника

   Квантовая электроника

   Квантовые приборы

Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- цифровые приборы -- полупроводниковые материалы -- нанокомпозитные материалы -- кремниевые технологии -- кремний -- нанокластеры кремния -- режимы термообработки
Аннотация: Показано, что при формировании нанокластеров кремния на монокристалических кремниевых подложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру. Указывается на возможность использования массива нанокристаллов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Доп.точки доступа:
Фам Куанг Тунг